FFKM là vật liệu bịt kín hiệu suất cao. Hiệu suất tuyệt vời của nó đã cho phép ứng dụng của nó thâm nhập vào toàn bộ hệ thống sản xuất các sản phẩm bán dẫn. Trong số đó, vòng đệm FFKM là một trong những vật tư tiêu hao chính cần thiết cho việc sản xuất mạch tích hợp.
cấu trúc và đặc điểm hiệu suất của FFKM
FFKM được đồng trùng hợp bởi tetrafluoroethylene (TFE), perfluoroalkyl vinyl ether (PAVE) là các monome chính và một lượng nhỏ monome điểm lưu hóa (CSM). Như thể hiện trong hình bên dưới, tất cả các nguyên tử carbon trong polyme Các nguyên tử hydro trên cao su đều được thay thế bằng các nguyên tử flo, khiến nó trở thành loại cao su không chứa liên kết CH nào cả.
Các tính năng hiệu suất chính của FFKM:
1) Tính chất vật lý
Mật độ của FFKM là 1.9-2.0g/cm³. Các tính chất cơ học ở nhiệt độ bình thường của nó gần giống với các tính chất của cao su fluoro dựa trên vinylidene fluoride (VDF) (FKM), nhưng các tính chất cơ học ở nhiệt độ cao của nó tốt hơn các tính chất của cao su fluoro.
2) Khả năng chống hóa chất
Không có nguyên tử hydro nào trong chuỗi phân tử FFKM và các liên kết CC về cơ bản được bao quanh bởi một lớp vỏ gồm các nguyên tử F, cho thấy tính trơ về mặt hóa học mạnh và làm cho polyme có khả năng chống lại hóa chất đáng kể.
3) Khả năng chịu nhiệt độ cao và thấp
Nhiệt độ hoạt động của FFKM thường là 260~290 độ, và có thể sử dụng không liên tục ở nhiệt độ cao 316 độ. Vì một số lượng lớn các nhóm -OCF3 được đưa vào chuỗi nhánh của các phân tử, tính linh hoạt của các phân tử được cải thiện và khả năng chịu nhiệt độ thấp của cao su được cải thiện.
4) Sức cản của plasma
Trong môi trường plasma, sản phẩm thể hiện đặc tính sạch cao, ít kết tủa và có thể chịu được sự bắn phá của plasma trong thời gian dài.
Ứng dụng của fFKM trong chất bán dẫn
Trong sản xuất chất bán dẫn, độ tin cậy của phớt đàn hồi là rất quan trọng vì việc ngừng sản xuất để thay phớt rất tốn kém. Để tránh rủi ro tiềm ẩn, các yêu cầu về độ sạch và độ tinh khiết của phớt rất nghiêm ngặt. Đồng thời, phớt phải có khả năng hoạt động trong thời gian dài trong môi trường áp suất nhiệt độ cao, chân không cao và khí hóa học ăn mòn.
Về ứng dụng bán dẫn, FFKM chủ yếu tập trung vào:
1) Phớt khí: Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, việc xử lý và vận chuyển nhiều loại khí khác nhau là rất cần thiết. Vòng đệm chữ O FFKM được sử dụng để bịt kín đường ống dẫn khí, van và mối nối để đảm bảo khí không bị rò rỉ và duy trì tính ổn định của quy trình.
2) Khắc và làm sạch: Các bước khắc và làm sạch trong quy trình bán dẫn thường liên quan đến việc sử dụng các phương tiện ăn mòn như axit mạnh hoặc kiềm. Vòng đệm chữ O FFKM được sử dụng rộng rãi trong các bộ phận thiết bị tiếp xúc với các phương tiện này, chẳng hạn như buồng khắc, bể làm sạch, v.v. do khả năng chống ăn mòn tuyệt vời của chúng.
3) Vận chuyển chất lỏng và hóa chất: Trong sản xuất chất bán dẫn, cần phải vận chuyển nhiều loại chất lỏng và hóa chất khác nhau, chẳng hạn như dung dịch, dung môi, chất lỏng làm sạch, v.v. Vòng đệm chữ O FFKM có thể được sử dụng để làm kín các bộ phận thiết bị như đường ống, van và máy bơm để đảm bảo vận chuyển chất lỏng an toàn.
4) Môi trường nhiệt độ cao: Một số bước nhất định trong quy trình bán dẫn cần được thực hiện trong môi trường nhiệt độ cao, chẳng hạn như xử lý nhiệt, ủ, v.v. Vòng chữ O FFKM có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời và có thể duy trì tính đàn hồi và tính chất bịt kín ở nhiệt độ cao.
5) Xử lý nước siêu tinh khiết: Trong sản xuất chất bán dẫn, nước siêu tinh khiết được sử dụng để làm sạch và thanh lọc thiết bị và vật liệu. Vòng chữ O FFKM được sử dụng rộng rãi để bịt kín thiết bị xử lý nước siêu tinh khiết nhằm ngăn chặn sự xâm nhập của tạp chất và chất gây ô nhiễm.
Do chi phí nguyên liệu cao su FFKM cao, điều kiện làm việc thường sử dụng phớt FFKM cực kỳ khắc nghiệt. Trong điều kiện làm việc khắc nghiệt này, các loại cao su khác dễ bị ăn mòn, phồng rộp, hòa tan, lão hóa và cứng lại, v.v., dẫn đến hỏng phớt và do đó không thể đáp ứng các yêu cầu về phớt. Do khả năng chống ăn mòn và chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, cao su FFKM không chỉ có thể đáp ứng các yêu cầu về phớt trong điều kiện làm việc khắc nghiệt mà còn tăng tuổi thọ của phớt và giảm chi phí bảo dưỡng cho khách hàng.
