R32 Difluoromethane làm khí ăn mòn khô cho Si3N4

R32 Difluoromethane còn gọi là HFC-32, công thức phân tử: CH2F2, là khí ăn mòn dị hướng đối với Si3N4, có độ chọn lọc tương đối thấp đối với SiO2 và Si. Ngoài vai trò là chất ăn mòn chính, nó còn có thể được sử dụng làm khí phụ trợ cho các chất ăn mòn chính khác để điều chỉnh tỷ lệ flo/cacbon.

 

R32 – Đặc điểm chính:

1.Không làm suy giảm tầng ozone

2. Không độc hại

3. Khí Hydrofluorocarbon (HFC)

4. Dầu: POE (Dầu Poly Olester)

Trong kỷ nguyên hiện đại của sản xuất chất bán dẫn, nơi độ chính xác và sự thu nhỏ là những yếu tố then chốt, quá trình ăn mòn đóng một vai trò quan trọng. Khắc là một kỹ thuật phức tạp được sử dụng để loại bỏ có chọn lọc các lớp vật liệu khỏi tấm bán dẫn, cho phép tạo ra các mẫu mạch phức tạp.

Khắc khô là việc sử dụng khí để khắc môi trường. Các phương pháp khắc khô phổ biến bao gồm khắc vật lý (như khắc tia ion) và khắc hơi hóa học (chẳng hạn như khắc plasma). Khí được sử dụng để tác động lên bề mặt của chất nền để làm trầy xước và đặc tính của nó là độ chính xác xử lý cao.

R32 Difluoromethane là loại khí ăn mòn khô được sử dụng phổ biến, được sử dụng rộng rãi trong các quy trình ăn mòn plasma trong ngành công nghiệp điện tử. Ngoài ra, nó còn là chất làm mát không có khả năng làm suy giảm tầng ozone và được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị làm lạnh như máy điều hòa không khí, tủ lạnh và điều hòa không khí ô tô. So với chất làm lạnh truyền thống, gas R32 có hiệu suất làm lạnh cao hơn và tác động đến môi trường thấp hơn.

Xiamen Juda là nhà cung cấp giải pháp khắc khí và làm lạnh hàng đầu tại Trung Quốc, cung cấp nhiều loại sản phẩm như R32, C4F8, SF6, CF4 và Gas lạnh. Được thành lập vào năm 1988 bởi một trong những công ty tiên phong sản xuất hóa chất của Trung Quốc, Juhua Group Corporation, Xiamen Juda đã chuyên tâm xuất khẩu hóa chất fluoride từ năm 2004. Đội ngũ của chúng tôi cam kết mang lại sự xuất sắc và cung cấp các giải pháp khí đốt hàng đầu để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Chúng tôi tự hào về danh tiếng lâu đời của mình về chất lượng và độ tin cậy. Với Xiamen Juda, bạn có thể tin tưởng rằng mình đang đạt được thành tích tốt nhất trong ngành.