Làm sạch wafer là gì? Điện thoại:+086-592-5803997
Làm sạch tấm bán dẫn là một quá trình bán dẫn quan trọng loại bỏ các hạt, chất hữu cơ và chất gây ô nhiễm kim loại khỏi tấm bán dẫn silicon bằng cách sử dụng bể hóa chất ướt (như RCA Clean,Piranha ăn mòn bằng H₂SO₄/H₂O₂), dung môi (acetone, metanol), axit hydrofluoric (HF) và phương pháp chà cơ học hoặc siêu âm, sau đó là-rửa bằng nước siêu tinh khiết và sấy khô bằng nitơ để đảm bảo bề mặt-không có khuyết tật cho việc chế tạo vi mạch, với các quy trình phát triển từ nhúng hàng loạt đến- phun wafer đơn lẻ để đạt độ chính xác.
Hydrofluoroether HFE347, kết hợp ODP bằng 0, GWP thấp, không-khả năng bắt lửa và không có cặn, đã nhanh chóng trở thành sản phẩm mới được yêu thích của các kỹ sư chế tạo và hiện được coi là sự bổ sung và nâng cấp mạnh mẽ cho các phương pháp thông thường.
quá trình làm sạch wafer Điện thoại:+086-592-5803997
| Bước làm sạch wafer | Mục đích |
|---|---|
| Làm sạch trước{0}}khuếch tán | Tạo ra một bề mặt không chứa các chất ô nhiễm kim loại, hạt và hữu cơ. Trong một số trường hợp, oxit tự nhiên hoặc oxit hóa học cần phải được loại bỏ. |
| Loại bỏ ion kim loại sạch | Loại bỏ các ion kim loại có thể gây ảnh hưởng xấu đến hoạt động của thiết bị. |
| Loại bỏ hạt sạch | Loại bỏ các hạt khỏi bề mặt bằng phương pháp chà rửa hóa học hoặc cơ học bằng phương pháp làm sạch Megasonic. |
| Đăng Etch sạch | Loại bỏ chất quang dẫn và polyme còn sót lại sau quá trình ăn mòn. Loại bỏ chất quang dẫn và cặn rắn, bao gồm cả "etch polymer". |
| Loại bỏ phim sạch | Khắc/dải silicon nitride, khắc/dải oxit, khắc silicon và khắc/dải kim loại |
Giới hạn của việc làm sạch thông thường & Vai trò chiến lược của HFE Điện thoại:+086-592-5803997
Quy trình làm sạch tấm bán dẫn RCA cổ điển phụ thuộc vào các dung dịch hóa chất có nước-nhiệt độ cao,-có độ tinh khiết cao (ví dụ: SC-1, SC-2). Mặc dù có khả năng loại bỏ các ion, chất gây ô nhiễm kim loại và hạt rất tốt nhưng quy trình này có hai hạn chế cố hữu:
Hiệu quả hạn chế đối với các chất gây ô nhiễm hữu cơ cụ thể như dư lượng chất quang dẫn, dầu bơm chân không, mỡ silicon và chất bôi trơn tiên tiến từ các bộ phận chính xác.
Thử thách làm khô bằng "nước": Sức căng bề mặt cao của nước gây ra rủi ro nghiêm trọng trong giai đoạn làm khô cuối cùng, thường dẫn đến sự sụp đổ của mẫu và dư lượng hình mờ, đặc biệt là trên các cấu trúc có tỷ lệ khung hình-{1}}cao.
HFE 347, với vai trò là dung môi hydrofluoroether tiên tiến, giải quyết trực tiếp những điểm yếu này thông qua các đặc tính hóa lý độc đáo, tự định vị mình là môi trường lý tưởng để "khô chính xác-trong-giặt ướt".
Thông tin cơ bản về làm sạch wafer Hydrofluoroether HFE347
Điện thoại:+086-592-5803997
HFE (Hydrofluoroether) là một loại hợp chất hữu cơ bao gồm hydro, flo, carbon và oxy, kết hợp các liên kết ether (R-O-R') và cấu trúc fluoroalkyl. Nó được thiết kế để duy trì hiệu suất tuyệt vời của dung môi fluoride đồng thời giảm tác động đến môi trường (chẳng hạn như sự suy giảm tầng ozone và khả năng nóng lên toàn cầu). HFE được sử dụng rộng rãi như một chất làm sạch chính xác, chất làm mát, chất mang dung môi, v.v., đặc biệt là trong lĩnh vực điện tử, chất bán dẫn và hàng không vũ trụ.
|
Tên hóa học: |
1,1,2,2-Tetrafluoroetyl 2,2,2-trifluoroetyl ete |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MW: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Tính chất hóa học |
|
|
điểm sôi |
56,2 độ |
|
Tỉ trọng |
1.487 |
|
chỉ số khúc xạ |
1.276 |
|
Trọng lượng riêng |
1.487 |
|
Tham chiếu cơ sở dữ liệu CAS |
406-78-0(Tham chiếu cơ sở dữ liệu CAS) |
|
Hệ thống đăng ký chất EPA |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Mục kiểm tra |
Thông số kỹ thuật |
|
Vẻ bề ngoài |
Chất lỏng trong suốt không màu |
|
độ tinh khiết |
Lớn hơn hoặc bằng 99,5% |
|
Nước |
Nhỏ hơn hoặc bằng 100ppm |
Tham quan nhà máy làm sạch wafer bán dẫn HFE 347 Điện thoại:+086-592-5803997
Nhà cung cấp chất tẩy rửa bán dẫn - Hồ sơ công ty Điện thoại:+086-592-5803997
Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. là một doanh nghiệp chiến lược được đầu tư bởi Tập đoàn Juhua -, công ty hàng đầu trong ngành hóa chất fluorochemical - của Trung Quốc - để tiến vào lĩnh vực vật liệu điện tử-cao cấp.
Dựa trên các thế mạnh về chuỗi công nghiệp đầy đủ của Tập đoàn, trải dài từ nguyên liệu flo cơ bản đến fluoropolyme tiên tiến và dựa trên-chuyên môn công nghệ lâu dài của mình, Juda đặt mục tiêu vượt qua các rào cản cung ứng quốc tế và đạt được khả năng tự-tự cung cấp các vật liệu điện tử cốt lõi. Công ty chuyên cung cấp các giải pháp thiết yếu dựa trên flo-hiệu suất cao{4}}để sản xuất chất bán dẫn, mạch tích hợp và các ứng dụng điện tử phức tạp khác.
Chú phổ biến: dung môi làm sạch wafer hydrofluoroether hfe347, nhà cung cấp, nhà sản xuất, nhà máy, báo giá, giá cả, mua
